| ■ カーボンナノチューブCVD合成装置 |
 |
| ◆ |
カーボンナノチューブ合成用のCVD合成装置 |
| ◆ |
単層、二層及び多層カーボンナノチューブの大量合成が可能 |
◆
|
各種基板上へのカーボンナノチューブ膜の直接合成も可能 |
|
|
|
|
|
|
|
| ◆ |
有機液体中でカーボンナノチューブを基板状に直接合成が可能 |
◆
|
有機液体の種類、触媒、基板の種類、各種条件などを変更することで、さまざまな形態のカーボンナノチューブ、あるいはその他のナノカーボン材料を創製することができます |
| ■
カーボンナノチューブ液相合成装置 |
 |
|
|
|
 |
|
| ■
表面処理+真空蒸着+CVD（CNT合成）複合機 |
 |
| ◆ |
坩堝加熱と基板加熱にそれぞれ独立した通電過熱システムを搭載 |
| ◆ |
触媒金属膜を基板に蒸着、そのままカーボンナノチューブを合成可能 |
◆
|
基板表面処理、基板加熱、触媒成膜、触媒還元、カーボンナノチューブ、カーボンナノファイバー、ダイヤモンドライクカーボンなどの膜の合成、表面修飾などのプロセスを自由に組み合わせて多機能膜を創製できます |
|
|
|
 |
|
|
